アダマンテート
出光は、フラットパネルディスプレイ、光通信、半導体をはじめとする様々な分野で化学品、エンプラ、電子材料の開発に取り組んでいます。機能材料部アダマンタングループは、最先端の半導体製造に用いられる高機能化学品(フォトレジスト用モノマー:アダマンテート※1)の販売を行っています。
- ※1
- アダマンテートはアダマンタン誘導品の登録商標です
アダマンタンの特長
アダマンタンは、耐熱性、脂溶性、昇華性、耐湿性、高屈折率、耐薬品性などに優れた化合物です。その誘導体は、半導体製造用フォトレジストや医薬などの分野で、原料として使用されています。
出光は、約30年前からアダマンタン製造技術および用途の開発を行っており、廃棄物の少ない新しい触媒を用いた製造法を開発しました。2008年には徳山工場内に世界で初めて、廃触媒を発生しない連続生産設備を建設、稼動を開始しました。また、この触媒技術および製造プロセスが高く評価され、2008年度触媒学会賞(技術部門)、第10回グリーン・サステイナブル・ケミストリー(GSC)賞の経済産業大臣賞を受賞しました。
| 分子式 |
C10H16 |
| 分子量 |
136.23 |
| 融点 |
269℃(封管中) |
| 密度 |
1.07g/cm3 |
| 屈折率 |
1,568±0.003 |
アダマンテート(上市品)
アダマンテートは、高い透明性・ドライエッチング耐性に優れた製品です。
その他、熱安定性、低吸湿性にも優れています。
アダマンテートを樹脂原料として用いた場合
- アクリル樹脂(@193nm波長ArF)
- :透過率70%以上
- アクリル樹脂
- :Tg:200℃以上
- ポリカーボネート樹脂
- :Tg:250℃以上
- アクリル樹脂
- :吸水率:0.11%以下